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大学石墨烯制备炉PECVD
  • 公 司 名: 昆山艾科迅机械有限公司
  • 经营模式: 生产/制造
  • 企业法人: 徐晓伟
  • 企业性质:有限责任公司
  • 成立时间:
  • 发布日期: 2017-3-8 9:24:24
  • 昆山艾科迅机械有限公司
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  • 联系人:潘晶晶 (女士)
  • 经营模式: 生产/制造
  • 会员积分: 198个
  • 企业性质: 有限责任公司

简要说明:大学石墨烯制备炉PECVD产物简介:此款装备配有Plasma完成等离子加强,滑轨式设计在操纵时可将试验需要的恒定低温间接推到样品处,使样品能获得一个疾速的升温速率,异样也可将低温的管式炉间接推离样品处,使样品间接裸露在室温情况下,获得疾速的降温速率。并可选配氛围微调装配,可精确的节制反响腔体外部的气体压力,带刻度的调理阀对付做高压CVD异常简略适用,工艺反复性好,对付石墨烯发展工艺异常适合,也异样适用于请求疾速升降温的CVD试验。

详细介绍:

  大学石墨烯制备炉PECVD重要功效和特色: 
1、应用辉光放电发生等离子体电子启动气相; 
2、进步了气相反响的堆积速率、成膜品质; 
3、可通过调剂射频电源频率来节制堆积速率; 
4、能普遍用于:石墨烯、SiOx、SiNx、CNx、TiCxNy等薄膜的发展。 
开启式真空管式炉技巧参数 
石英管尺寸 L1400mm  Φ(60、80、100) 
加热元件 掺钼铁铬铝合金电阻丝 
测温元件 N型热电偶 
加热区长度 410mm   
恒温区长度 200mm 
事情温度 ≤1100℃ 
控温形式 隐约PID节制和自整定调理,智能化30段可编程节制,具备超平和断偶报警功效 
控温精度 ±1℃ 
升温速率 ≤20℃/min 
电功率 AC220V/50HZ/3KW 
品质供气体系技巧参数 
形状尺寸 600x600x600mm 
尺度量程 50sccm(CH4)、200sccm(H2)、500sccm(Ar、N2);
数显压力表丈量规模 -0.1Mpa~0.15Mpa 
极限压力 3MPa 
针阀 316不锈钢 
截止阀 Φ6mm 316不锈钢针阀 
电功率 AC220V/50HZ/20W 
回应光阴 气特征:1~4 Sec,电特征:10 Sec 
精确度 ±1.5% 
线性 ±0.5~1.5% 
反复精度 ±0.2% 
界面 Φ6,1/4'' 
真空体系技巧参数 
造型尺寸 600×600×600mm 
事情电电压 220V±10%  50~60HZ 
功率 400W 
抽气速率 4L\s 
极限真空 4X10-2Pa 
试验真空度 1.0X10-1Pa 
容油量 1.1L 
进气口口径 KF25 
供電電壓 單相交流(187V-253V) 頻率50/60HZ
整機效率 >=70%
功率因素 >=90%
冷卻方式 強制風冷

联系方式
  • 昆山艾科迅机械有限公司
  • 地址:昆山市经济技术开发区六时泾路28号
  • 电话:0512-57025499,
  • 传真:0512-57025499
  • 联 系 人:潘晶晶 (女士)
  • 邮编:
  • qq消息

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